シングルクリスタル基板材料は,結晶薄膜の上軸成長のためのシングルクリスタルウエファーを指します.単一の結晶の表面上の別の方向的な成長を指します.科学と技術の継続的な発展,特に光電子産業の興大と発展により,薄膜の性能と品質はますます要求されています原材料の基板は,要求を満たすとは程遠いので,様々な単結晶材料が基板として使用されています.研究分野は 絶えず拡大しています単結晶性シリコン材料は,マイクロ電子機器との互換性により,多くの薄膜のための好ましい基板材料です.異なる基板に栽培された同じ薄膜の一部は,最高の性能または最も経済的利益を得ることができます.例えば,GaN薄膜基板にはSiC,Al2オー3ZnO,Si,そしてLiAiO2モノ結晶基板材料は光電子産業の基礎である.

単結晶は基質材料として,以下の基本特性があります. 安定した物理的および化学的特性,大型の単結晶への容易なアクセス,高熱伝導性,熱膨張係数が小さい熱耐性も良し 処理能力も良い

単結晶基質の種類

• シナックス

  SiNx 薄膜は高硬さ,耐腐蝕性,高温性,良好な熱伝導性および絶縁性,優れた光電性能を持っています.SiNx薄膜は,マイクロ電子とマイクロ機械システム分野で広く使用されています..

• GAA

  ガリウムアルセニード (GaAs) は,より高い温度とより高い方向電圧で動作できるIII-V化合物半導体材料である.高功率装置の製造のための好ましい材料です電子移動性はSiの6倍であり,動作頻度は高い.高速集成回路および高速電子機器の製造に理想的な材料です.

• アール2オー3

  アルゴリズム0.32わかった0.78N/GaN 単結晶薄膜は,サファイア (主にAl) の上での上軸生長によって成長します.2オー3) 金属有機化学蒸気堆積 (MOCVD) 技術を用いられる基板は,高温,高周波,高電力装置の製造に最も好ましい材料である.衛星での大きな応用の可能性がありますレーダー,通信,その他の分野.

• SrTiO3

  ストロンチウムチタン酸 (SrTiO)3) は,高い電解常数,低電解損失,良好な熱安定性の利点を有する,広く使用される電子機能性陶器材料です.電子機器で広く使用されています同時に,機能的な材料として,ストロンチウムチタン酸は優れた光触媒活性を持っています.独特の電磁性特性と redox 触媒活動があるストロンチウムチタナートは,水分,有機汚染物質の光触媒分解,光化学電池の生成のための水の光触媒分解でも広く使用されています.さらに石は,しばしば合成のエメラルド型宝石に切られ,ダイヤモンドの代替品として非常に良いものです.

申請

• 発光材料半導体発光二極管 (LED) は白色光を放つ.そのエネルギー節約と環境に優しい特性により,この世紀で最も価値のある新しい光源になりました単結晶基板材料はLEDにおいて重要な役割を果たしています.現在,一般的に使用される基板はSiC,Al2オー3SiC単結晶の溶融点は非常に高く,約2700°Cなので,その化学的性質は比較的安定しています.SiC基板材料は6H型と4H型で利用できます.生産制御が難しくなります. 1991年まで6H-SiC型が商用化され,1994年から4H-SiCの商用化が開始されました. SiC基材材料は1996年にLEDの誕生の基礎を築きました.

• 超伝導材料超伝導材料は,通常,超滑らかな表面の単結晶基板の上に作られています.いわゆる超滑らかな表面は,1nm未満の表面です.表面の損傷や 傷跡や 地下部の損傷がないこの超滑らかな表面単結晶基板加工は,徐々に超伝導性,巨大な磁気抵抗,鉄電性薄膜などの多くの分野に浸透しています.半立方体構造のラオロ3通常温度では,0.379nmの格子定数を持つ典型的な超滑らかな表面の単結晶基板である.ラオロ3高温超伝導材料YBCOの基板としてよく使用されます.